造渣精炼去除多晶硅中B杂质的研究

xin0529

以现有实验成果为基础，采用相关热力学及动力学分析，综述了造渣精炼去除多晶硅中B杂质的原理、影响因素及发展现状，总结了国内外已有研究结果，为进一步研究提供了理论依据。