等离子体渗氮炉常见故障现象与维修方法

examine

一、有电压无电流

1、炉体真空度是否达到起辉光的真空度；
2、MC-B 控制器弧显灯、故障灯是否亮；
3、阴极和阳极到炉体是否接触良好；

二、出炉工件检验不合格

1、保温时间不够；
2、保温温度不是理想的工艺温度；
3、工件温度不均匀；
4、氨气纯度不够或压力不够；
5、离子电源老化，频率发生变化；
6、真空泵抽气速度达不到；

三、频繁出现故障指示灯亮，设备无法正常工作

1． 用示波器监测两个IGBT的VGE信号是否一致（此时高压绝对不允许接通）
2． 炉内尚未起辉前（电压500V以下）的故障，通常与电阻的损坏或主回路上所有连线和连接处接触不良有关。
3． 炉内刚起辉或起辉后常出故障，有以下几种可能性
1） IGBT的吸收回路的电容虚焊或失效、电阻的损坏、二极管击穿。
2） 两个IGBT电压的偏差较大。