酸洗去除冶金硅中的典型杂质

zsy080902

以王水和氢氟酸为酸洗介质,研究酸洗对冶金硅中典型杂质元素的脱除效果.结果表明:王水和氢氟酸对金属类杂质均有明显的去除作用,但对非金属B和P去除效率差.Al杂质经王水和氢氟酸酸洗后去除率分别为80％和86.3％,Fe杂质的去除率分别为78.6％和89.4％.氢氟酸对总杂质去除率比王水提高12％,但其对Cu的去除率仅为4.8％.Cu的相态分析表明:Cu在冶金硅中主要是以Al-Si-Cu合金相存在,抗氢氟酸腐蚀性强.与氢氟酸不同,王水通过化学破碎作用使硅粉粒度变小,利于杂质相暴露.两种酸对硅粉的损失率均小于3.5％.