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什么是高纯多晶硅的基磷和基硼?

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发表于 2008-8-29 12:18:52 | 显示全部楼层 |阅读模式

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什么是高纯多晶硅的基磷和基硼 ?
  [& }/ h7 k/ ]4 G6 Q用什么表示,单位是什么? $ F3 U! t- V1 o, z6 _$ M" i" F% m2 e3 k
这个数值的大小对多晶硅材料有什么影响 ?
9 h+ m' ^  t- N如何控制它们的量?
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