电子束熔炼时间对多晶硅杂质去除效果研究

风之健

采用电子束熔炼对98.8％的工业硅进行提纯，研究电子束熔炼参数的变化对各种杂质元素的去除效果，同时分析熔炼后杂质元素在硅锭上的分布状态。实验结果表明。电子束熔炼对硅中的主要杂质都有一定的去除效果，对P、Ca、Al效果较为明显，熔炼时间越长效果越好。