大约0.5mm大小的东西能用扫描电镜上的能谱仪分析元素含量吗？

sunny2008 · 发表于 2010-10-3 09:59:34

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大约0.5mm大小的东西能用扫描电镜上的能谱仪分析元素含量吗？最小可达到多少？

jianxinw · 发表于 2010-10-3 14:28:21

完全可以

淡忘感觉 · 发表于 2010-10-3 18:59:21

能谱就是做微区成分的

COXEM · 发表于 2011-8-1 16:04:36

一般最小作用区可以达到100nm尺度，常规材料电子束作用区在1-5微米

adazhao · 发表于 2011-8-1 18:57:29

怕太大了，呵呵

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